抽氣速率測量裝置如圖所示。為了測量抽氣速率，試驗罩、真空計和流量計應與泵連接。

關閉微調閥5，開泵運轉，待泵運轉穩定并達到極限壓力后，開啟微調閥5，把試驗氣體引入罩內，

建立一個設定的平衡壓力，用真空計測其壓力值，同時用流量計測量氣體流量。按規定進行抽氣速率的計算。測量應從接近極限壓力的適當壓力值開始，直到適合泵結構特點的允許壓力。每個壓力數量級內至少測三點（其分布基本符合2.5、5、10）。若測一次流量時間較長，取60s為一周期，壓力應重復測量，并取其平均值。如果最高與最低之差大于平均值10%，流量和壓力都應重新測量。